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エフコン マスフローコントローラーC1000 N/C 100sccm AR C1005NC-4S2-100-AR 1個 67-8168-68（直送品）の詳細情報
| 商品の特徴 | ●ノーマルクローズ仕様 | ||
|---|---|---|---|
| メーカー名 | エフコン | ガス種類 | AR |
| サイズ | 127×25.5×100mm | バルブ形式 | N/Cノーマルクローズ |
| 入出力 | アナログ信号（0～5VDC） | 再現性 | ±0.2％FS |
| 動作圧力範囲 | 50～300kPa | 外部リークレート | 1×10^-7Pa・m3/sec（He）以下 |
| 応答性 | 6sec | 接ガス部材質 | SUS316、PTFE、フッ素ゴム |
| 接続 | 1／4インチSWL相当 | 流量 | F.S.100sccm |
| 流量制御範囲 | 5～100％FS | 流量精度 | ±2％FS（精度保証範囲15～35℃） |
| 耐圧 | 1MPa（G） | 通信方式 | アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ） |
| 電源 | ＋15VDC±5％60mA、ー15VDC±5％150mA | ||
| 備考 | 【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。 | ||
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