HOT ! エフコンマスフローコントローラーC1000 N/C 100sccm AR C1005NC-4S2-100-AR 1個 67-8168-68（直送品）

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エフコンマスフローコントローラーC1000 N/C 100sccm AR C1005NC-4S2-100-AR 1個 67-8168-68（直送品）の詳細情報

商品の特徴	●ノーマルクローズ仕様
メーカー名	エフコン	ガス種類	AR
サイズ	127×25.5×100mm	バルブ形式	N/Cノーマルクローズ
入出力	アナログ信号（0～5VDC）	再現性	±0.2％FS
動作圧力範囲	50～300kPa	外部リークレート	1×10^-7Pa・m3/sec（He）以下
応答性	6sec	接ガス部材質	SUS316、PTFE、フッ素ゴム
接続	1／4インチSWL相当	流量	F.S.100sccm
流量制御範囲	5～100％FS	流量精度	±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
耐圧	1MPa（G）	通信方式	アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
電源	＋15VDC±5％60mA、ー15VDC±5％150mA
備考	【返品について】お客様のご都合による返品はお受けできません。